Interférométrie hétérodyne en microscopie optique de champ proche à sonde diffusante pour l'optique intégrée

Sébastien Aubert (1) , Aurélien Bruyant (2) , Sylvain Blaize (2) , Renaud Bachelot (2) , Gilles Lerondel (2) , Pascal Royer (2) , J. Broquin (3)

1 IETR - Institut d'Électronique et des Technologies du numéRique
2 LNIO - Laboratoire de Nanotechnologie et d'Instrumentation Optique
3 IMEP - Institut de Microélectronique, Electromagnétisme et Photonique

Domains: Engineering Sciences [physics]; Optics / Photonic

Sébastien Aubert, Aurélien Bruyant, Sylvain Blaize, Renaud Bachelot, Gilles Lerondel, et al.. Interférométrie hétérodyne en microscopie optique de champ proche à sonde diffusante pour l'optique intégrée. 22ème journées nationales de l'optique guidée, Nov 2001, Valence, France. ⟨hal-02498944⟩