Caractérisation micro/macromécanique de l’élasticité des couches minces par modélisation multiéchelle, diffraction des rayons X et technique d’excitation impulsionnelle

Mohamed Fares Slim 1 Akram Alhussein 1 Elia Zgheib 1 Manuel Francois 1
1 LASMIS - Laboratoire des Systèmes Mécaniques et d'Ingénierie Simultanée
ICD - Institut Charles Delaunay
Abstract : L’objectif de ce travail est de proposer une méthodologie permettant de déterminer les constantes d’élasticité monocristallines d’une phase incluse dans un film mince multiphasé en prenant en compte sa microstructure (multiphasage, porosité, texture et morphologie). La méthode présentée est basée sur l’utilisation d’un test macro-mécanique, la technique d’excitation impulsionnelle, un test micro-mécanique, la diffraction des rayons X sous chargement imposé, et la modélisation multiéchelle à l’aide du modèle autocohérent de Kröner-Eshelby. La méthode a été appliquée à une couche mince de tungstène biphasée déposée par pulvérisation cathodique magnétron et les constantes d’élasticité monocristallines de la phase Wβ métastable ont été déterminées.
Document type :
Conference papers
Complete list of metadatas
https://hal-utt.archives-ouvertes.fr/hal-02291310
Contributor : Jean-Baptiste Vu Van <>
Submitted on : Wednesday, September 18, 2019 - 3:50:55 PM
Last modification on : Thursday, September 19, 2019 - 1:26:14 AM

Identifiers

  • HAL Id : hal-02291310, version 1

Collections

P2MN | UTT

Citation

Mohamed Fares Slim, Akram Alhussein, Elia Zgheib, Manuel Francois. Caractérisation micro/macromécanique de l’élasticité des couches minces par modélisation multiéchelle, diffraction des rayons X et technique d’excitation impulsionnelle. 24e édition de Congrès Français de Mécanique, Aug 2019, Brest, France. ⟨hal-02291310⟩

Export

BibTeX TEI DC DCterms EndNote

Share

Metrics

Record views

7

Contact

support.ccsd.cnrs.fr
hal.support@ccsd.cnrs.fr
Logo CCSD