Caractérisation micro/macromécanique de l’élasticité des couches minces par modélisation multiéchelle, diffraction des rayons X et technique d’excitation impulsionnelle
Résumé
L’objectif de ce travail est de proposer une méthodologie permettant de déterminer les constantes d’élasticité monocristallines d’une phase incluse dans un film mince multiphasé en prenant en compte sa microstructure (multiphasage, porosité, texture et morphologie). La méthode présentée est basée sur l’utilisation d’un test macro-mécanique, la technique d’excitation impulsionnelle, un test micro-mécanique, la diffraction des rayons X sous chargement imposé, et la modélisation multiéchelle à l’aide du modèle autocohérent de Kröner-Eshelby. La méthode a été appliquée à une couche mince de tungstène biphasée déposée par pulvérisation cathodique magnétron et les constantes d’élasticité monocristallines de la phase Wβ métastable ont été déterminées.