Multiscale characterization of the elasticity of anisotropic thin films sputtered at oblique incidence - Université de technologie de Troyes Accéder directement au contenu
Communication Dans Un Congrès Année : 2020

Multiscale characterization of the elasticity of anisotropic thin films sputtered at oblique incidence

Domaines

Matériaux
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-03565503 , version 1 (11-02-2022)

Identifiants

  • HAL Id : hal-03565503 , version 1

Citer

Elia Zgheib, Akram Alhussein, Mohamed Fares Slim, Khaled Khalil, Manuel François. Multiscale characterization of the elasticity of anisotropic thin films sputtered at oblique incidence. Residual stresses: New tools for new challenges, Jan 2020, Aussois, France. ⟨hal-03565503⟩

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CNRS UTT
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