Procédé de fabrication d'une couche mince de nanoreliefs de silicium ordonnés

David Grosso; Cedric Boissiere; Gilles Lerondel

Patents

METHOD FOR MANUFACTURING A THIN FILM OF ORDERED SILICON NANOPATTERNS

Procédé de fabrication d'une couche mince de nanoreliefs de silicium ordonnés

David Grosso ¹ Cedric Boissiere ² Gilles Lerondel ³

1 LCMCP - Laboratoire de Chimie de la Matière Condensée de Paris

2 MHN - Matériaux Hybrides et Nanomatériaux

LCMCP - Laboratoire de Chimie de la Matière Condensée de Paris

3 LNIO - Laboratoire de Nanotechnologie et d'Instrumentation Optique

ICD - Institut Charles Delaunay

Document type :

Patents

Domain :

Engineering Sciences [physics] / Optics / Photonic

Complete list of metadata

https://hal-utt.archives-ouvertes.fr/hal-03141429
Contributor : Gilles Lerondel <>
Submitted on : Monday, February 15, 2021 - 11:52:19 AM
Last modification on : Wednesday, February 17, 2021 - 3:13:46 AM

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