https://hal-utt.archives-ouvertes.fr/hal-03141429
Contributor : Gilles Lerondel <>
Submitted on : Monday, February 15, 2021 - 11:52:19 AM Last modification on : Wednesday, February 17, 2021 - 3:13:46 AM
David Grosso, Cedric Boissiere, Gilles Lerondel. Procédé de fabrication d'une couche mince de nanoreliefs de silicium ordonnés. France, N° de brevet: FR2993701 (B1). 2015. ⟨hal-03141429⟩