METHOD FOR MANUFACTURING A THIN FILM OF ORDERED SILICON NANOPATTERNS - Archive ouverte HAL Access content directly
Patents Year : 2015

METHOD FOR MANUFACTURING A THIN FILM OF ORDERED SILICON NANOPATTERNS

Procédé de fabrication d'une couche mince de nanoreliefs de silicium ordonnés

(1) , (2) , (3)
1
2
3
Not file

Dates and versions

hal-03141429 , version 1 (15-02-2021)

Identifiers

  • HAL Id : hal-03141429 , version 1

Cite

David Grosso, Cedric Boissiere, Gilles Lerondel. Procédé de fabrication d'une couche mince de nanoreliefs de silicium ordonnés. France, N° de brevet: FR2993701 (B1). 2015. ⟨hal-03141429⟩
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