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Patents

Procédé de fabrication d'une couche mince de nanoreliefs de silicium ordonnés

Document type :
Patents
Complete list of metadata

https://hal-utt.archives-ouvertes.fr/hal-03141429
Contributor : Gilles Lerondel Connect in order to contact the contributor
Submitted on : Monday, February 15, 2021 - 11:52:19 AM
Last modification on : Wednesday, September 15, 2021 - 3:03:28 PM

Identifiers

  • HAL Id : hal-03141429, version 1

Citation

David Grosso, Cedric Boissiere, Gilles Lerondel. Procédé de fabrication d'une couche mince de nanoreliefs de silicium ordonnés. France, N° de brevet: FR2993701 (B1). 2015. ⟨hal-03141429⟩

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