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Conference papers
Large scale sub-100 nm 2D nanostructuring obtained by nanosphere lithography combined with metal evaporation and reactive ion etching
Hind Kadiri
1
Marco Faustini
2
Daniel Turover
3
David Grosso
4
Gilles Lerondel
1
1
LNIO - Laboratoire de Nanotechnologie et d'Instrumentation Optique
ICD - Institut Charles Delaunay
4
MHN - Matériaux Hybrides et Nanomatériaux
LCMCP - Laboratoire de Chimie de la Matière Condensée de Paris
Gilles Lerondel 1
Author IdHAL : gilles-lerondel
1
LNIO - Laboratoire de Nanotechnologie et d'Instrumentation Optique (12 rue Marie Curie - BP 2060 10010 TROYES CEDEX - France)
- ICD - Institut Charles Delaunay (12, rue Marie Curie BP 2060 - 10010 Troyes Cedex - France)
- UTT - Université de Technologie de Troyes (12 rue Marie Curie CS 42060 10004 TROYES CEDEX - France)
- CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UMR6281 (France)
2
LCMCP-MHN - Matériaux Hybrides et Nanomatériaux (France)
- LCMCP - Laboratoire de Chimie de la Matière Condensée de Paris (Sorbonne Université
4 place Jussieu
75252 Paris cedex 05 - France)
- CdF (institution) - Collège de France (France)
- SU - Sorbonne Université (21 rue de l’École de médecine - 75006 Paris - France)
- CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UMR7574 (France)
3
SILSEF SAS (382 rue Louis Rustin, Archamps Technopole, 74160 Archamps - France)
4
MHN - Matériaux Hybrides et Nanomatériaux (France)
- LCMCP - Laboratoire de Chimie de la Matière Condensée de Paris (11 place Marcelin Berthelot 75231 Paris Cedex 05 - France)
- CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UMR7574 (France)
- UPMC - Université Pierre et Marie Curie - Paris 6 (4 place Jussieu - 75005 Paris - France)
- CdF (institution) - Collège de France (France)
Document type :
Conference papers
Domain :
Complete list of metadatas
https://hal-utt.archives-ouvertes.fr/hal-02866321
Contributor : Jean-Baptiste Vu Van <>
Submitted on : Friday, June 12, 2020 - 1:32:47 PM
Last modification on : Thursday, December 17, 2020 - 1:40:09 PM
Contributor : Jean-Baptiste Vu Van <>
Submitted on : Friday, June 12, 2020 - 1:32:47 PM
Last modification on : Thursday, December 17, 2020 - 1:40:09 PM
Identifiers
- HAL Id : hal-02866321, version 1
Collections
Citation
Hind Kadiri, Marco Faustini, Daniel Turover, David Grosso, Gilles Lerondel. Large scale sub-100 nm 2D nanostructuring obtained by nanosphere lithography combined with metal evaporation and reactive ion etching. JNTE215 4èmes Journées Nationales sur les Technologies Emergentes en micro-nanofabrication, Nov 2015, Ecully, France. ⟨hal-02866321⟩
Metrics
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