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Conference papers
Advanced large scale colloidal lithography for sub-100 nm direct and indirect structuring: application to silicon and metals
Hind Kadiri
1
Marco Faustini
2
Daniel Turover
3
David Grosso
4
Anisha Gokarna
1
Gilles Lerondel
1
1
LNIO - Laboratoire de Nanotechnologie et d'Instrumentation Optique
ICD - Institut Charles Delaunay
4
MHN - Matériaux Hybrides et Nanomatériaux
LCMCP - Laboratoire de Chimie de la Matière Condensée de Paris
Anisha Gokarna 1
Author
Gilles Lerondel 1
Author IdHAL : gilles-lerondel
1
LNIO - Laboratoire de Nanotechnologie et d'Instrumentation Optique (12 rue Marie Curie - BP 2060 10010 TROYES CEDEX - France)
- ICD - Institut Charles Delaunay (12, rue Marie Curie BP 2060 - 10010 Troyes Cedex - France)
- UTT - Université de Technologie de Troyes (12 rue Marie Curie CS 42060 10004 TROYES CEDEX - France)
- CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UMR6281 (France)
2
LCMCP-MHN - Matériaux Hybrides et Nanomatériaux (France)
- LCMCP - Laboratoire de Chimie de la Matière Condensée de Paris (Sorbonne Université
4 place Jussieu
75252 Paris cedex 05 - France)
- CdF (institution) - Collège de France (France)
- SU - Sorbonne Université (21 rue de l’École de médecine - 75006 Paris - France)
- CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UMR7574 (France)
3
SILSEF SAS (382 rue Louis Rustin, Archamps Technopole, 74160 Archamps - France)
4
MHN - Matériaux Hybrides et Nanomatériaux (France)
- LCMCP - Laboratoire de Chimie de la Matière Condensée de Paris (11 place Marcelin Berthelot 75231 Paris Cedex 05 - France)
- CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UMR7574 (France)
- UPMC - Université Pierre et Marie Curie - Paris 6 (4 place Jussieu - 75005 Paris - France)
- CdF (institution) - Collège de France (France)
Document type :
Conference papers
Domain :
Complete list of metadata
https://hal-utt.archives-ouvertes.fr/hal-02866188
Contributor : Jean-Baptiste Vu Van Connect in order to contact the contributor
Submitted on : Friday, June 12, 2020 - 12:20:44 PM
Last modification on : Wednesday, September 15, 2021 - 3:03:47 PM
Contributor : Jean-Baptiste Vu Van Connect in order to contact the contributor
Submitted on : Friday, June 12, 2020 - 12:20:44 PM
Last modification on : Wednesday, September 15, 2021 - 3:03:47 PM
Identifiers
- HAL Id : hal-02866188, version 1
Collections
CDF | LCMCP-MHN | INC-CNRS | UPMC | SORBONNE-UNIVERSITE | LCMCP | UTT | CNRS | SU-SCIENCES | PSL
Citation
Hind Kadiri, Marco Faustini, Daniel Turover, David Grosso, Anisha Gokarna, et al.. Advanced large scale colloidal lithography for sub-100 nm direct and indirect structuring: application to silicon and metals. Tech connect World Innovation Conference & Expo, Jun 2015, Washington, United States. ⟨hal-02866188⟩
Metrics
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