Method of nanostructring a film or a wafer of material of the metal oxide or semi-conductor type - Université de technologie de Troyes Accéder directement au contenu
Brevet Année : 2010

Method of nanostructring a film or a wafer of material of the metal oxide or semi-conductor type

Gilles Lerondel
Laboratoire de Nanotechnologie et d'Instrumentation Optique
CV
Laurent Divay
  • Fonction : Auteur

Domaines

Optique / photonique

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https://utt.hal.science/hal-02866038

Soumis le : vendredi 12 juin 2020-11:13:06

Dernière modification le : vendredi 12 janvier 2024-16:46:23

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-02866038 , version 1 (12-06-2020)

Identifiants

  • HAL Id : hal-02866038 , version 1

Citer

Gilles Lerondel, Laurent Divay. Method of nanostructring a film or a wafer of material of the metal oxide or semi-conductor type. Unknown Region, Patent n° : WO2010130963 (A1). 2010. ⟨hal-02866038⟩

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