Method of nanostructuring a film or a wafer of material of the metal oxide or semiconductor type - Université de technologie de Troyes Accéder directement au contenu
Brevet Année : 2012

Method of nanostructuring a film or a wafer of material of the metal oxide or semiconductor type

Gilles Lerondel
Laboratoire de Nanotechnologie et d'Instrumentation Optique
CV
Laurent Divay
  • Fonction : Auteur

Domaines

Optique / photonique

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https://utt.hal.science/hal-02866026

Soumis le : vendredi 12 juin 2020-11:07:39

Dernière modification le : vendredi 12 janvier 2024-16:44:51

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-02866026 , version 1 (12-06-2020)

Identifiants

  • HAL Id : hal-02866026 , version 1

Citer

Gilles Lerondel, Laurent Divay. Method of nanostructuring a film or a wafer of material of the metal oxide or semiconductor type. Unknown Region, Patent n° : EP2430220 (A1). 2012. ⟨hal-02866026⟩

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