Brevet
Année : 2012
Jean-Baptiste VU VAN : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://utt.hal.science/hal-02866026
Soumis le : vendredi 12 juin 2020-11:07:39
Dernière modification le : vendredi 12 janvier 2024-16:44:51
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-02866026 , version 1
Citer
Gilles Lerondel, Laurent Divay. Method of nanostructuring a film or a wafer of material of the metal oxide or semiconductor type. Unknown Region, Patent n° : EP2430220 (A1). 2012. ⟨hal-02866026⟩
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