https://hal-utt.archives-ouvertes.fr/hal-02866019
Contributor : Jean-Baptiste Vu Van <>
Submitted on : Friday, June 12, 2020 - 11:05:07 AM Last modification on : Friday, October 30, 2020 - 2:40:03 PM
David Grosso, Cedric Boissiere, Gilles Lerondel. Procédé de fabrication d'une couche mince de nanoreliefs de silicium ordonnés. France, Patent n° : FR2993701. 2014. ⟨hal-02866019⟩