Procédé de fabrication d'une couche mince de nanoreliefs de silicium ordonnés - Université de technologie de Troyes Access content directly
Patents Year : 2012

Procédé de fabrication d'une couche mince de nanoreliefs de silicium ordonnés

David Grosso
  • Function : Author
  • PersonId : 977521
Laboratoire de Chimie de la Matière Condensée de Paris
Cedric Boissiere
Matériaux Hybrides et Nanomatériaux
Gilles Lerondel
Laboratoire de Nanotechnologie et d'Instrumentation Optique
CV

Domains

Optics / Photonic

Jean-Baptiste VU VAN  : Connect in order to contact the contributor

https://hal-utt.archives-ouvertes.fr/hal-02866019

Submitted on : Friday, June 12, 2020-11:05:07 AM

Last modification on : Friday, June 2, 2023-3:14:50 PM

Not file

Dates and versions

hal-02866019 , version 1 (12-06-2020)

Identifiers

  • HAL Id : hal-02866019 , version 1

Cite

David Grosso, Cedric Boissiere, Gilles Lerondel. Procédé de fabrication d'une couche mince de nanoreliefs de silicium ordonnés. France, N° de brevet: FR2993701 (A1). 2012. ⟨hal-02866019⟩

Export

BibTeX TEI Dublin Core DC Terms EndNote Datacite

Collections

UPMC CNRS CDF LCMCP INC-CNRS LCMCP-MHN PSL SORBONNE-UNIVERSITE SU-SCIENCES UTT CHIMIE-SU
36 View
0 Download

Share

Gmail Facebook Twitter LinkedIn More