Procédé de fabrication d'une couche mince de nanoreliefs de silicium ordonnés - Université de technologie de Troyes Accéder directement au contenu
Brevet Année : 2012

Procédé de fabrication d'une couche mince de nanoreliefs de silicium ordonnés

David Grosso
  • Fonction : Auteur
  • PersonId : 977521
Laboratoire de Chimie de la Matière Condensée de Paris
Cedric Boissiere
Matériaux Hybrides et Nanomatériaux
Gilles Lerondel
Laboratoire de Nanotechnologie et d'Instrumentation Optique
CV

Domaines

Optique / photonique

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https://utt.hal.science/hal-02866019

Soumis le : vendredi 12 juin 2020-11:05:07

Dernière modification le : jeudi 11 avril 2024-13:08:14

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-02866019 , version 1 (12-06-2020)

Identifiants

  • HAL Id : hal-02866019 , version 1

Citer

David Grosso, Cedric Boissiere, Gilles Lerondel. Procédé de fabrication d'une couche mince de nanoreliefs de silicium ordonnés. France, N° de brevet: FR2993701 (A1). 2012. ⟨hal-02866019⟩

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