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Conference papers
Evolutionary Optimization for Plasmon-Assisted Lithography
Caroline Prodhon
1
Demetrio Macías
2
Farouk Yalaoui
1
Alexandre Vial
2
Lionel Amodeo
1
2
LNIO - Laboratoire de Nanotechnologie et d'Instrumentation Optique
ICD - Institut Charles Delaunay
Caroline Prodhon 1
Author
Demetrio Macías 2
Author
Farouk Yalaoui 1
Author
Alexandre Vial 2
Author IdHAL : alexandre-vial ORCID : https://orcid.org/0000-0002-7701-0413
Lionel Amodeo 1
Author
1
LOSI - Laboratoire d'Optimisation des Systèmes Industriels (12 rue Marie Curie, F-10010 Troyes - France)
- ICD - Institut Charles Delaunay (12, rue Marie Curie BP 2060 - 10010 Troyes Cedex - France)
- UTT - Université de Technologie de Troyes (12 rue Marie Curie CS 42060 10004 TROYES CEDEX - France)
- CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UMR6281 (France)
2
LNIO - Laboratoire de Nanotechnologie et d'Instrumentation Optique (12 rue Marie Curie - BP 2060 10010 TROYES CEDEX - France)
- ICD - Institut Charles Delaunay (12, rue Marie Curie BP 2060 - 10010 Troyes Cedex - France)
- UTT - Université de Technologie de Troyes (12 rue Marie Curie CS 42060 10004 TROYES CEDEX - France)
- CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UMR6281 (France)
Document type :
Conference papers
Domain :
Complete list of metadatas
https://hal-utt.archives-ouvertes.fr/hal-02555974
Contributor : Jean-Baptiste Vu Van <>
Submitted on : Monday, April 27, 2020 - 5:07:34 PM
Last modification on : Wednesday, May 20, 2020 - 11:48:06 AM
Contributor : Jean-Baptiste Vu Van <>
Submitted on : Monday, April 27, 2020 - 5:07:34 PM
Last modification on : Wednesday, May 20, 2020 - 11:48:06 AM
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Identifiers
- HAL Id : hal-02555974, version 1
- DOI : 10.1007/978-3-642-01129-0_47
Citation
Caroline Prodhon, Demetrio Macías, Farouk Yalaoui, Alexandre Vial, Lionel Amodeo. Evolutionary Optimization for Plasmon-Assisted Lithography. EvoWorkshops 2009, Apr 2009, Tübingen, Germany. Springer, ⟨10.1007/978-3-642-01129-0_47⟩. ⟨hal-02555974⟩
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