Nanostructuration by nanoimprint lithography of hybrid silica coatings

Alban Letailleur (1) , Cedric Boissiere (2) , François Ribot (3) , Clément Sanchez (4) , Jérémie Teisseire (5) , Etienne Barthel (1) , Elin Sondergard (1) , Christophe Couteau (6) , Stefan Mcmurtry (7) , Gilles Lerondel (6) , Nicolas Chemin (8)

1 SVI - Surface du Verre et Interfaces
2 MHN - Matériaux Hybrides et Nanomatériaux
3 LCMCP-MHN - Matériaux Hybrides et Nanomatériaux
4 LCMCP - Laboratoire de Chimie de la Matière Condensée de Paris
5 CRPP - Centre de recherches Paul Pascal
6 LNIO - Laboratoire de Nanotechnologie et d'Instrumentation Optique
7 IJL - Institut Jean Lamour
8 SGR - Saint-Gobain Recherche

Domains: Engineering Sciences [physics]; Optics / Photonic

Alban Letailleur, Cedric Boissiere, François Ribot, Clément Sanchez, Jérémie Teisseire, et al.. Nanostructuration by nanoimprint lithography of hybrid silica coatings. Nanoimprint and Nanoprint Technology (NNT), Oct 2010, Copenhague, Denmark. ⟨hal-02526413⟩