Development of a long range nanometric precision stage for near field characterization

Luc Chassagne (1) , S. Topcu (2) , Yasser Alayli (1) , Patrick Juncar (3) , Gilles Lerondel (4) , Sylvain Blaize (4) , Aurélien Bruyant (4) , Ilan Stefanon (4) , Pascal Royer (4)

1 LISV - Laboratoire d'Ingénierie des Systèmes de Versailles
2 UVSQ - Université de Versailles Saint-Quentin-en-Yvelines
3 LCM - Laboratoire commun de métrologie LNE-CNAM
4 LNIO - Laboratoire de Nanotechnologie et d'Instrumentation Optique

Domaines: Optique / photonique

Luc Chassagne, S. Topcu, Yasser Alayli, Patrick Juncar, Gilles Lerondel, et al.. Development of a long range nanometric precision stage for near field characterization. 5th EUSPEN International Conference, May 2005, Montpellier, France. ⟨hal-02521512⟩