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Conference papers
Development of a long range nanometric precision stage for near field characterization
Luc Chassagne
1
S. Topcu
2
Yasser Alayli
1
Patrick Juncar
3
Gilles Lerondel
4
Sylvain Blaize
4
Aurélien Bruyant
4
Ilan Stefanon
4
Pascal Royer
4
Luc Chassagne 1
Author IdHAL : luc-chassagne ORCID : https://orcid.org/0000-0003-4240-4591
S. Topcu 2
Author
Yasser Alayli 1
Author
Patrick Juncar 3
Author
Gilles Lerondel 4
Author IdHAL : gilles-lerondel
Sylvain Blaize 4
Author
Aurélien Bruyant 4
Author
Ilan Stefanon 4
Author
Pascal Royer 4
Author
1
LISV - Laboratoire d'Ingénierie des Systèmes de Versailles (Bâtiment Boucher
Pôle scientifique et technologique de Vélizy
10-12 avenue de l'Europe
78140 Vélizy
Tél. : 01 39 25 49 65 - France)
- UVSQ - Université de Versailles Saint-Quentin-en-Yvelines : UR4048 (55 avenue de Paris - 78035 Versailles cedex - France)
2
UVSQ - Université de Versailles Saint-Quentin-en-Yvelines (55 avenue de Paris - 78035 Versailles cedex - France)
3
LCM - Laboratoire commun de métrologie LNE-CNAM (CNAM Case courrier 2D7P30 rue du Landy
93210 LA PLAINE SAINT DENIS - France)
- LNE - Laboratoire National de Métrologie et d'Essais [Trappes] : EA2367 (29 avenue Roger Hennequin 78197 Trappes cedex - France)
- CNAM - Conservatoire National des Arts et Métiers [CNAM] : EA2367 (France)
4
LNIO - Laboratoire de Nanotechnologie et d'Instrumentation Optique (12 rue Marie Curie - BP 2060 10010 TROYES CEDEX - France)
- ICD - Institut Charles Delaunay (12, rue Marie Curie BP 2060 - 10010 Troyes Cedex - France)
- UTT - Université de Technologie de Troyes (12 rue Marie Curie CS 42060 10004 TROYES CEDEX - France)
- CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UMR6281 (France)
Document type :
Conference papers
Domain :
Complete list of metadatas
https://hal-utt.archives-ouvertes.fr/hal-02521512
Contributor : Jean-Baptiste Vu Van <>
Submitted on : Friday, March 27, 2020 - 2:58:09 PM
Last modification on : Saturday, March 28, 2020 - 1:58:08 AM
Contributor : Jean-Baptiste Vu Van <>
Submitted on : Friday, March 27, 2020 - 2:58:09 PM
Last modification on : Saturday, March 28, 2020 - 1:58:08 AM
Identifiers
- HAL Id : hal-02521512, version 1
Citation
Luc Chassagne, S. Topcu, Yasser Alayli, Patrick Juncar, Gilles Lerondel, et al.. Development of a long range nanometric precision stage for near field characterization. 5th EUSPEN International Conference, May 2005, Montpellier, France. ⟨hal-02521512⟩
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