Caractérisation de structures guidantes confinées avec un microscope optique de champ proche à sonde sans ouverture

Sébastien Aubert; Sylvain Blaize; Aurélien Bruyant; Renaud Bachelot; Gilles Lerondel; Pascal Royer

Conference papers

Caractérisation de structures guidantes confinées avec un microscope optique de champ proche à sonde sans ouverture

Sébastien Aubert ¹ Sylvain Blaize ² Aurélien Bruyant ² Renaud Bachelot ² Gilles Lerondel ² Pascal Royer ²

1 IETR - Institut d'Électronique et des Technologies du numéRique

2 LNIO - Laboratoire de Nanotechnologie et d'Instrumentation Optique

ICD - Institut Charles Delaunay

Document type :

Conference papers

Domain :

Engineering Sciences [physics] / Optics / Photonic

Complete list of metadata

https://hal-utt.archives-ouvertes.fr/hal-02498948
Contributor : Jean-Baptiste VU VAN Connect in order to contact the contributor
Submitted on : Wednesday, March 4, 2020 - 7:04:58 PM
Last modification on : Sunday, June 26, 2022 - 4:45:32 AM

Caractérisation de structures guidantes confinées avec un microscope optique de champ proche à sonde sans ouverture

Identifiers

Collections

Citation

Export

Metrics

24

Caractérisation de structures guidantes confinées avec un microscope optique de champ proche à sonde sans ouverture

Identifiers

Collections

Citation

Export

Share

Metrics

24