Caractérisation de structures guidantes confinées avec un microscope optique de champ proche à sonde sans ouverture

Sébastien Aubert (1) , Sylvain Blaize (2) , Aurélien Bruyant (2) , Renaud Bachelot (2) , Gilles Lerondel (2) , Pascal Royer (2)

1 IETR - Institut d'Électronique et des Technologies du numéRique
2 LNIO - Laboratoire de Nanotechnologie et d'Instrumentation Optique

Domains: Engineering Sciences [physics]; Optics / Photonic

Sébastien Aubert, Sylvain Blaize, Aurélien Bruyant, Renaud Bachelot, Gilles Lerondel, et al.. Caractérisation de structures guidantes confinées avec un microscope optique de champ proche à sonde sans ouverture. Forum des microscopies à sondes locales, Mar 2003, La Grande-Motte, France. ⟨hal-02498948⟩