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Conference papers

Cartographie de champ dans des structures optiques intégrées sur silicium par microscopie optique de champ proche interférentielle hétérodyne

Ilan Stefanon 1 Sylvain Blaize 1 Gilles Lerondel 1 Renaud Bachelot 1 Pascal Royer 1
1 LNIO - Laboratoire de Nanotechnologie et d'Instrumentation Optique
ICD - Institut Charles Delaunay
Document type :
Conference papers
Complete list of metadata
https://hal-utt.archives-ouvertes.fr/hal-02498940
Contributor : Jean-Baptiste Vu Van Connect in order to contact the contributor
Submitted on : Wednesday, March 4, 2020 - 6:57:32 PM
Last modification on : Wednesday, September 15, 2021 - 3:03:57 PM

Identifiers

  • HAL Id : hal-02498940, version 1

Collections

UTT | CNRS

Citation

Ilan Stefanon, Sylvain Blaize, Gilles Lerondel, Renaud Bachelot, Pascal Royer. Cartographie de champ dans des structures optiques intégrées sur silicium par microscopie optique de champ proche interférentielle hétérodyne. GDR Ondes, Jun 2006, Paris, France. ⟨hal-02498940⟩

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