Cartographie de champs dans des structures optique intégrées sur silicium par microscopie optique de champ proche interférentielle hétérodyne

Ilan Stefanon (1) , Sylvain Blaize (1) , Gilles Lerondel (1) , Renaud Bachelot (1) , Pascal Royer (1) , B Martin , Kien Phan Huy (2) , David Amans (3) , A. Morand (4) , Pierre Benech (4) , J Vebert , E. Hadji (5) , Jean-Marc Fedeli (6)

1 LNIO - Laboratoire de Nanotechnologie et d'Instrumentation Optique
2 FEMTO-ST - Franche-Comté Électronique Mécanique, Thermique et Optique - Sciences et Technologies (UMR 6174)
3 LPCML - Laboratoire de Physico-Chimie des Matériaux Luminescents
4 IMEP - Institut de Microélectronique, Electromagnétisme et Photonique
5 SiNaps - Silicon Nanoelectronics Photonics and Structures
6 CEA-LETI - Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information

Domains: Engineering Sciences [physics]; Optics / Photonic

Ilan Stefanon, Sylvain Blaize, Gilles Lerondel, Renaud Bachelot, Pascal Royer, et al.. Cartographie de champs dans des structures optique intégrées sur silicium par microscopie optique de champ proche interférentielle hétérodyne. JNOG, Nov 2006, Metz, France. ⟨hal-02498834⟩