Cartographie de champs dans des structures optique intégrées sur silicium par microscopie optique de champ proche interférentielle hétérodyne
Ilan Stefanon
(1)
,
Sylvain Blaize
(1)
,
Gilles Lerondel
(1)
,
Renaud Bachelot
(1)
,
Pascal Royer
(1)
,
B Martin
,
Kien Phan Huy
(2)
,
David Amans
(3)
,
A. Morand
(4)
,
Pierre Benech
(4)
,
J Vebert
,
E. Hadji
(5)
,
Jean-Marc Fedeli
(6)
1
LNIO -
Laboratoire de Nanotechnologie et d'Instrumentation Optique
2 FEMTO-ST - Franche-Comté Électronique Mécanique, Thermique et Optique - Sciences et Technologies (UMR 6174)
3 LPCML - Laboratoire de Physico-Chimie des Matériaux Luminescents
4 IMEP - Institut de Microélectronique, Electromagnétisme et Photonique
5 SiNaps - Silicon Nanoelectronics Photonics and Structures
6 CEA-LETI - Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information
2 FEMTO-ST - Franche-Comté Électronique Mécanique, Thermique et Optique - Sciences et Technologies (UMR 6174)
3 LPCML - Laboratoire de Physico-Chimie des Matériaux Luminescents
4 IMEP - Institut de Microélectronique, Electromagnétisme et Photonique
5 SiNaps - Silicon Nanoelectronics Photonics and Structures
6 CEA-LETI - Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information
Sylvain Blaize
- Function : Author
- PersonId : 758115
- ORCID : 0000-0002-2294-9191
Gilles Lerondel
- Function : Author
- PersonId : 179313
- IdHAL : gilles-lerondel
- ORCID : 0000-0002-1942-3260
- IdRef : 120689448
Renaud Bachelot
- Function : Author
- PersonId : 1123329
B Martin
- Function : Author
Kien Phan Huy
- Function : Author
- PersonId : 748650
- IdHAL : kien-phan-huy
- ORCID : 0000-0003-2433-5203
- IdRef : 102203407
David Amans
- Function : Author
- PersonId : 178807
- IdHAL : david-amans
- ORCID : 0000-0001-7553-2907
- IdRef : 140057919
A. Morand
- Function : Author
- PersonId : 170503
- IdHAL : alain-morand
- ORCID : 0000-0003-2888-2861
- IdRef : 102203237
Pierre Benech
- Function : Author
- PersonId : 969204
J Vebert
- Function : Author
E. Hadji
- Function : Author
- PersonId : 171820
- IdHAL : emmanuel-hadji
- IdRef : 112845355
Jean-Marc Fedeli
- Function : Author
- PersonId : 859166