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Conference papers
Cartographie de champs dans des structures optique intégrées sur silicium par microscopie optique de champ proche interférentielle hétérodyne
Ilan Stefanon 1 Sylvain Blaize 1 Gilles Lerondel 1 Renaud Bachelot 1 Pascal Royer 1 B Martin Kien Phan Huy 2 David Amans 3 A. Morand 4 Pierre Benech 4 J Vebert E. Hadji 5 Jean-Marc Fedeli 6
1
LNIO - Laboratoire de Nanotechnologie et d'Instrumentation Optique
ICD - Institut Charles Delaunay
5
SiNaps - Silicon Nanoelectronics Photonics and Structures
PHELIQS - PHotonique, ELectronique et Ingénierie QuantiqueS : DRF/IRIG/PHELIQS
Ilan Stefanon 1
Author
Sylvain Blaize 1
Author
ORCID : 0000-0002-2294-9191
Gilles Lerondel 1
Author
IdHAL : gilles-lerondelIdRef : 120689448
Renaud Bachelot 1
Author
Pascal Royer 1
Author
B Martin
Author
Kien Phan Huy 2
Author
IdHAL : kien-phan-huyORCID : 0000-0003-2433-5203IdRef : 102203407
David Amans 3
Author
IdHAL : david-amansORCID : 0000-0001-7553-2907IdRef : 140057919
A. Morand 4
Author
IdHAL : alain-morandORCID : 0000-0003-2888-2861IdRef : 102203237
Pierre Benech 4
Author
Employer institution: Institut polytechnique de Grenoble - Grenoble Institute of Technology
J Vebert
Author
E. Hadji 5
Author
IdHAL : emmanuel-hadjiIdRef : 112845355
Jean-Marc Fedeli 6
Author
1
LNIO - Laboratoire de Nanotechnologie et d'Instrumentation Optique (12 rue Marie Curie - BP 2060 10010 TROYES CEDEX - France)
- ICD - Institut Charles Delaunay (12, rue Marie Curie BP 2060 - 10010 Troyes Cedex - France)
- UTT - Université de Technologie de Troyes (12 rue Marie Curie CS 42060 10004 TROYES CEDEX - France)
- CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UMR6281 (France)
2
FEMTO-ST - Franche-Comté Électronique Mécanique, Thermique et Optique - Sciences et Technologies (UMR 6174) (32 avenue de l'Observatoire 25044 BESANCON CEDEX - France)
- UTBM - Université de Technologie de Belfort-Montbeliard : UMR 6174 (France)
- ENSMM - Ecole Nationale Supérieure de Mécanique et des Microtechniques (École Nationale Supérieure de Mécanique et des Microtechniques 26, rue de l'épitaphe CS 51813 25030 BESANÇON CEDEX - FRANCE - France)
- CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UMR6174 (France)
- UFC - Université de Franche-Comté (1 rue Goudimel 25030 Besançon cedex - France)
3
LPCML - Laboratoire de Physico-Chimie des Matériaux Luminescents (43, boulevard du 11 Novembre 1918 - 69622 Villeurbanne Cedex - France - France)
- UCBL - Université Claude Bernard Lyon 1 (43, boulevard du 11 novembre 1918, 69622 Villeurbanne cedex - France)
- Université de Lyon (92 rue Pasteur - CS 30122, 69361 Lyon Cedex 07 - France)
- CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UMR5620 / URA442 (France)
4
IMEP - Institut de Microélectronique, Electromagnétisme et Photonique (23 rue des Martyrs - BP 257 38016 GRENOBLE CEDEX 1 - France)
- UJF - Université Joseph Fourier - Grenoble 1 (BP 53 - 38041 Grenoble Cedex 9 - France)
- INPG - Institut National Polytechnique de Grenoble (46 avenue Félix Viallet 38031 Grenoble Cedex 1 - France)
- CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UMR5130 (France)
5
SiNaps - Silicon Nanoelectronics Photonics and Structures (CEA
17 rue des Martyrs
F-38054 Grenoble Cedex 9 - France)
- PHELIQS - PHotonique, ELectronique et Ingénierie QuantiqueS : DRF/IRIG/PHELIQS (CEA
17 rue des Martyrs
F-38054 Grenoble Cedex 9 - France)
- UGA [2016-2019] - Université Grenoble Alpes [2016-2019] (38058 Grenoble cedex - France)
- IRIG - Institut de Recherche Interdisciplinaire de Grenoble : DRF/IRIG/DEPHY (France)
- DRF (CEA) - Direction de Recherche Fondamentale (CEA) : DRF/IRIG (Direction de Recherche Fondamentale
Fundamental Research Division
CEA Saclay
91191 Gif-sur-Yvette
- France)
- CEA - Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives (Centre de Saclay Centre de Grenoble Centre de Cadarache etc - France)
- DRF (CEA) - Direction de Recherche Fondamentale (CEA) : DRF/IRIG (Direction de Recherche Fondamentale
Fundamental Research Division
CEA Saclay
91191 Gif-sur-Yvette
- France)
6
CEA-LETI - Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives - Laboratoire d'Electronique et de Technologie de l'Information (MINATEC 17, rue des Martyrs, 38054, Grenoble Cedex 9 - France)
- DRT (CEA) - Direction de Recherche Technologique (CEA) : DRT (France)
- CEA - Commissariat à l'énergie atomique et aux énergies alternatives : DRT (Centre de Saclay Centre de Grenoble Centre de Cadarache etc - France)
Document type :
Conference papers
Domain :
Complete list of metadata
https://hal-utt.archives-ouvertes.fr/hal-02498834
Contributor : Jean-Baptiste VU VAN Connect in order to contact the contributor
Submitted on : Wednesday, March 4, 2020 - 5:40:17 PM
Last modification on : Sunday, June 26, 2022 - 4:45:30 AM
Contributor : Jean-Baptiste VU VAN Connect in order to contact the contributor
Submitted on : Wednesday, March 4, 2020 - 5:40:17 PM
Last modification on : Sunday, June 26, 2022 - 4:45:30 AM
Identifiers
- HAL Id : hal-02498834, version 1
Collections
Citation
Ilan Stefanon, Sylvain Blaize, Gilles Lerondel, Renaud Bachelot, Pascal Royer, et al.. Cartographie de champs dans des structures optique intégrées sur silicium par microscopie optique de champ proche interférentielle hétérodyne. JNOG, Nov 2006, Metz, France. ⟨hal-02498834⟩
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