High resolution nanophotolithography in Atomic Force Microscopy (AFM) Contact mode - Université de technologie de Troyes Accéder directement au contenu
Communication Dans Un Congrès Année : 2003
Fichier non déposé

Dates et versions

hal-02497508 , version 1 (03-03-2020)

Identifiants

  • HAL Id : hal-02497508 , version 1

Citer

Yann Gilbert, Radouane Fikri, Anna Rumyantseva, Gilles Lerondel, Renaud Bachelot, et al.. High resolution nanophotolithography in Atomic Force Microscopy (AFM) Contact mode. Nanopatterns and nanostructures at the interface, Oct 2003, Mulhouse, France. ⟨hal-02497508⟩

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CNRS UTT
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