Nouveaux procédés à effets optiques de pointe pour la réalisation de nanostructures polymères photo-sensibles applications à la nanophotolithographie et au stockage d'informations très haute densité - Université de technologie de Troyes Accéder directement au contenu
Brevet Année : 2001

Nouveaux procédés à effets optiques de pointe pour la réalisation de nanostructures polymères photo-sensibles applications à la nanophotolithographie et au stockage d'informations très haute densité

Fichier non déposé

Dates et versions

hal-02486883 , version 1 (21-02-2020)

Identifiants

  • HAL Id : hal-02486883 , version 1

Citer

Renaud Bachelot, Pascal Royer. Nouveaux procédés à effets optiques de pointe pour la réalisation de nanostructures polymères photo-sensibles applications à la nanophotolithographie et au stockage d'informations très haute densité. France, Patent n° : FR2832994. 2001. ⟨hal-02486883⟩

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CNRS UTT
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