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Patents

Nouveaux procédés à effets optiques de pointe pour la réalisation de nanostructures polymères photo-sensibles applications à la nanophotolithographie et au stockage d'informations très haute densité

Document type :
Patents
Complete list of metadatas

https://hal-utt.archives-ouvertes.fr/hal-02486883
Contributor : Jean-Baptiste Vu Van <>
Submitted on : Friday, February 21, 2020 - 11:42:26 AM
Last modification on : Friday, March 27, 2020 - 4:12:03 PM

Identifiers

  • HAL Id : hal-02486883, version 1

Collections

P2MN | UTT | CNRS

Citation

Renaud Bachelot, Pascal Royer. Nouveaux procédés à effets optiques de pointe pour la réalisation de nanostructures polymères photo-sensibles applications à la nanophotolithographie et au stockage d'informations très haute densité. France, Patent n° : FR2832994. 2001. ⟨hal-02486883⟩

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