Nouveaux procédés à effets optiques de pointe pour la réalisation de nanostructures polymères photo-sensibles applications à la nanophotolithographie et au stockage d'informations très haute densité - Archive ouverte HAL Access content directly
Patents Year : 2001

Nouveaux procédés à effets optiques de pointe pour la réalisation de nanostructures polymères photo-sensibles applications à la nanophotolithographie et au stockage d'informations très haute densité

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Dates and versions

hal-02486883 , version 1 (21-02-2020)

Identifiers

  • HAL Id : hal-02486883 , version 1

Cite

Renaud Bachelot, Pascal Royer. Nouveaux procédés à effets optiques de pointe pour la réalisation de nanostructures polymères photo-sensibles applications à la nanophotolithographie et au stockage d'informations très haute densité. France, Patent n° : FR2832994. 2001. ⟨hal-02486883⟩

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CNRS UTT
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