Patents
Year : 2001
Jean-Baptiste VU VAN : Connect in order to contact the contributor
https://hal-utt.archives-ouvertes.fr/hal-02486883
Submitted on : Friday, February 21, 2020-11:42:26 AM
Last modification on : Friday, March 24, 2023-2:53:15 PM
Dates and versions
Identifiers
- HAL Id : hal-02486883 , version 1
Cite
Renaud Bachelot, Pascal Royer. Nouveaux procédés à effets optiques de pointe pour la réalisation de nanostructures polymères photo-sensibles applications à la nanophotolithographie et au stockage d'informations très haute densité. France, Patent n° : FR2832994. 2001. ⟨hal-02486883⟩
12
View
0
Download