Brevet
Année : 2001
Jean-Baptiste VU VAN : Connectez-vous pour contacter le contributeur
https://utt.hal.science/hal-02486883
Soumis le : vendredi 21 février 2020-11:42:26
Dernière modification le : vendredi 12 janvier 2024-16:45:39
Dates et versions
Identifiants
- HAL Id : hal-02486883 , version 1
Citer
Renaud Bachelot, Pascal Royer. Nouveaux procédés à effets optiques de pointe pour la réalisation de nanostructures polymères photo-sensibles applications à la nanophotolithographie et au stockage d'informations très haute densité. France, Patent n° : FR2832994. 2001. ⟨hal-02486883⟩
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