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Patents

Nouveaux procédés à effets optiques de pointe pour la réalisation de nanostructures polymères photo-sensibles applications à la nanophotolithographie et au stockage d'informations très haute densité

Renaud Bachelot 1 Pascal Royer 1
1 LNIO - Laboratoire de Nanotechnologie et d'Instrumentation Optique
ICD - Institut Charles Delaunay
Document type :
Patents
Complete list of metadata
https://hal-utt.archives-ouvertes.fr/hal-02486883
Contributor : Jean-Baptiste Vu Van Connect in order to contact the contributor
Submitted on : Friday, February 21, 2020 - 11:42:26 AM
Last modification on : Wednesday, September 15, 2021 - 3:03:56 PM

Identifiers

  • HAL Id : hal-02486883, version 1

Collections

UTT | CNRS

Citation

Renaud Bachelot, Pascal Royer. Nouveaux procédés à effets optiques de pointe pour la réalisation de nanostructures polymères photo-sensibles applications à la nanophotolithographie et au stockage d'informations très haute densité. France, Patent n° : FR2832994. 2001. ⟨hal-02486883⟩

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