Conference Papers
Year :
Jean-Baptiste VU VAN : Connect in order to contact the contributor
https://hal-utt.archives-ouvertes.fr/hal-02486670
Submitted on : Friday, February 21, 2020-10:16:57 AM
Last modification on : Friday, March 24, 2023-2:53:15 PM
Dates and versions
Identifiers
- HAL Id : hal-02486670 , version 1
Cite
Fekra H'Dhili, Renaud Bachelot, Dominique Barchiesi, Gilles Lerondel, Pascal Royer. Cartographie sur couche de PMMA-DR1 de l'effet de pointe optique généré à l'extrémité d'une sonde SNOM sans ouverture. Application à la nanophotolithographie. Journées du club nanotechnologie, 2001, Paris, France. ⟨hal-02486670⟩
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