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Conference papers

Cartographie sur couche de PMMA-DR1 de l'effet de pointe optique généré à l'extrémité d'une sonde SNOM sans ouverture. Application à la nanophotolithographie

Document type :
Conference papers
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https://hal-utt.archives-ouvertes.fr/hal-02486670
Contributor : Jean-Baptiste VU VAN Connect in order to contact the contributor
Submitted on : Friday, February 21, 2020 - 10:16:57 AM
Last modification on : Sunday, June 26, 2022 - 4:45:23 AM

Identifiers

  • HAL Id : hal-02486670, version 1

Collections

CNRS | UTT

Citation

Fekra H'Dhili, Renaud Bachelot, Dominique Barchiesi, Gilles Lerondel, Pascal Royer. Cartographie sur couche de PMMA-DR1 de l'effet de pointe optique généré à l'extrémité d'une sonde SNOM sans ouverture. Application à la nanophotolithographie. Journées du club nanotechnologie, 2001, Paris, France. ⟨hal-02486670⟩

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