Cartographie sur couche de PMMA-DR1 de l'effet de pointe optique généré à l'extrémité d'une sonde SNOM sans ouverture. Application à la nanophotolithographie - Archive ouverte HAL Access content directly
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Cartographie sur couche de PMMA-DR1 de l'effet de pointe optique généré à l'extrémité d'une sonde SNOM sans ouverture. Application à la nanophotolithographie

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Engineering Sciences [physics] Optics / Photonic

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Submitted on : Friday, February 21, 2020-10:16:57 AM

Last modification on : Sunday, June 26, 2022-4:45:23 AM

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hal-02486670 , version 1 (21-02-2020)

Identifiers

  • HAL Id : hal-02486670 , version 1

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Fekra H'Dhili, Renaud Bachelot, Dominique Barchiesi, Gilles Lerondel, Pascal Royer. Cartographie sur couche de PMMA-DR1 de l'effet de pointe optique généré à l'extrémité d'une sonde SNOM sans ouverture. Application à la nanophotolithographie. Journées du club nanotechnologie, 2001, Paris, France. ⟨hal-02486670⟩

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