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Conference papers

Fabrication par lithographie de nanostructures optiques en champ proche

Serguei Kochtcheev 1 Régis Déturche 1 Anna Rumyantseva 1 Gilles Lerondel 1 Pascal Royer 1
1 LNIO - Laboratoire de Nanotechnologie et d'Instrumentation Optique
ICD - Institut Charles Delaunay
Document type :
Conference papers
Complete list of metadatas
https://hal-utt.archives-ouvertes.fr/hal-02460104
Contributor : Jean-Baptiste Vu Van <>
Submitted on : Wednesday, January 29, 2020 - 6:55:48 PM
Last modification on : Thursday, January 30, 2020 - 1:40:30 AM

Identifiers

  • HAL Id : hal-02460104, version 1

Collections

P2MN | UTT | CNRS

Citation

Serguei Kochtcheev, Régis Déturche, Anna Rumyantseva, Gilles Lerondel, Pascal Royer. Fabrication par lithographie de nanostructures optiques en champ proche. Journée Micro et Nanotechnologies 2001, Nov 2001, Paris, France. ⟨hal-02460104⟩

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