Fabrication par lithographie de nanostructures optiques en champ proche - Université de technologie de Troyes Access content directly
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Fabrication par lithographie de nanostructures optiques en champ proche

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Optics / Photonic

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Submitted on : Wednesday, January 29, 2020-6:55:48 PM

Last modification on : Friday, March 24, 2023-2:53:14 PM

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Dates and versions

hal-02460104 , version 1 (29-01-2020)

Identifiers

  • HAL Id : hal-02460104 , version 1

Cite

Serguei Kochtcheev, Régis Deturche, Anna Rumyantseva, Gilles Lerondel, Pascal Royer. Fabrication par lithographie de nanostructures optiques en champ proche. Journée Micro et Nanotechnologies 2001, Nov 2001, Paris, France. ⟨hal-02460104⟩

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