Fabrication par lithographie de nanostructures optiques en champ proche - Archive ouverte HAL Access content directly
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Fabrication par lithographie de nanostructures optiques en champ proche

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Dates and versions

hal-02460104 , version 1 (29-01-2020)

Identifiers

  • HAL Id : hal-02460104 , version 1

Cite

Serguei Kochtcheev, Régis Deturche, Anna Rumyantseva, Gilles Lerondel, Pascal Royer. Fabrication par lithographie de nanostructures optiques en champ proche. Journée Micro et Nanotechnologies 2001, Nov 2001, Paris, France. ⟨hal-02460104⟩

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CNRS UTT
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