Fabrication par lithographie de nanostructures optiques en champ proche

Serguei Kochtcheev; Régis Deturche; Anna Rumyantseva; Gilles Lerondel; Pascal Royer

Conference Papers Year :

Fabrication par lithographie de nanostructures optiques en champ proche

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Serguei Kochtcheev

Function : Author
PersonId : 1058558

Laboratoire de Nanotechnologie et d'Instrumentation Optique

Régis Deturche

Function : Author

Laboratoire de Nanotechnologie et d'Instrumentation Optique

Anna Rumyantseva

Function : Author

Laboratoire de Nanotechnologie et d'Instrumentation Optique

Gilles Lerondel

Function : Author
PersonId : 179313
IdHAL : gilles-lerondel
ORCID : 0000-0002-1942-3260
IdRef : 120689448

Laboratoire de Nanotechnologie et d'Instrumentation Optique

CV

Pascal Royer

Function : Author

Laboratoire de Nanotechnologie et d'Instrumentation Optique

Domains

Engineering Sciences [physics] Optics / Photonic

Jean-Baptiste VU VAN : Connect in order to contact the contributor

https://hal-utt.archives-ouvertes.fr/hal-02460104

Submitted on : Wednesday, January 29, 2020-6:55:48 PM

Last modification on : Sunday, June 26, 2022-4:44:38 AM

Dates and versions

hal-02460104 , version 1 (29-01-2020)

Identifiers

HAL Id : hal-02460104 , version 1

Cite

Serguei Kochtcheev, Régis Deturche, Anna Rumyantseva, Gilles Lerondel, Pascal Royer. Fabrication par lithographie de nanostructures optiques en champ proche. Journée Micro et Nanotechnologies 2001, Nov 2001, Paris, France. ⟨hal-02460104⟩

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