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Conference papers

Fabrication par lithographie de nanostructures optiques en champ proche

Serguei Kochtcheev 1 Régis Deturche 1 Anna Rumyantseva 1 Gilles Lerondel 1 Pascal Royer 1 
1 LNIO - Laboratoire de Nanotechnologie et d'Instrumentation Optique
ICD - Institut Charles Delaunay
Document type :
Conference papers
Complete list of metadata
https://hal-utt.archives-ouvertes.fr/hal-02460104
Contributor : Jean-Baptiste VU VAN Connect in order to contact the contributor
Submitted on : Wednesday, January 29, 2020 - 6:55:48 PM
Last modification on : Sunday, June 26, 2022 - 4:44:38 AM

Identifiers

  • HAL Id : hal-02460104, version 1

Collections

CNRS | UTT

Citation

Serguei Kochtcheev, Régis Deturche, Anna Rumyantseva, Gilles Lerondel, Pascal Royer. Fabrication par lithographie de nanostructures optiques en champ proche. Journée Micro et Nanotechnologies 2001, Nov 2001, Paris, France. ⟨hal-02460104⟩

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