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Journal articles
Photo-chemical study and optical properties of microtips self- written on vertical laser diodes using NIR photo-polymerization
David Barat
1
Véronique Bardinal
1
I. Dika
2
Olivier Soppera
2
P. Debernardi
3
Anna Rumyantseva
4
Benjamin Reig
5
Mikael Renault
4
Thierry Camps
1
Aurélien Bruyant
4
Jean-Baptiste Doucet
5
J.P. Malval
2
Emmanuelle Daran
5
1
LAAS-MICA - Équipe MICrosystèmes d'Analyse
LAAS - Laboratoire d'analyse et d'architecture des systèmes
3
IEIIT-CNR - Institute of Electronics, Computer and Telecommunication Engineering
Polito - Politecnico di Torino [Torino], CNR - Consiglio Nazionale delle Ricerche [Torino]
4
LNIO - Laboratoire de Nanotechnologie et d'Instrumentation Optique
ICD - Institut Charles Delaunay
5
LAAS-TEAM - Service Techniques et Équipements Appliqués à la Microélectronique
LAAS - Laboratoire d'analyse et d'architecture des systèmes
David Barat 1
Author
Véronique Bardinal 1
Author Employer institution : Équipe MICrosystèmes d'Analyse IdHAL : veronique-bardinal ORCID : https://orcid.org/0000-0001-9242-4457
I. Dika 2
Author
Olivier Soppera 2
Author IdHAL : olivier-soppera ORCID : https://orcid.org/0000-0001-5250-2254
P. Debernardi 3
Author
Anna Rumyantseva 4
Author
Benjamin Reig 5
Author IdHAL : benjamin-reig
Mikael Renault 4
Author
Thierry Camps 1
Author Employer institution : Équipe Nano Ingénierie et Intégration des Systèmes
Aurélien Bruyant 4
Author
Jean-Baptiste Doucet 5
Author Employer institution : Service Techniques et Équipements Appliqués à la Microélectronique
J.P. Malval 2
Author
Emmanuelle Daran 5
Author Employer institution : Service Techniques et Équipements Appliqués à la Microélectronique IdHAL : emmanuelle-daran IdRef : https://www.idref.fr/063052849
1
LAAS-MICA - Équipe MICrosystèmes d'Analyse (France)
- LAAS - Laboratoire d'analyse et d'architecture des systèmes (7 Av du colonel Roche 31077 TOULOUSE CEDEX 4 - France)
- UT2J - Université Toulouse - Jean Jaurès (5 allées Antonio Machado - 31058 Toulouse Cedex 9 - France)
- UT1 - Université Toulouse 1 Capitole (2 rue du Doyen-Gabriel-Marty - 31042 Toulouse Cedex 9 - France)
- Université Fédérale Toulouse Midi-Pyrénées (41 Allée Jules Guesde, 31000 Toulouse - France)
- CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UPR8001 (France)
- UT3 - Université Toulouse III - Paul Sabatier (118 route de Narbonne - 31062 Toulouse - France)
- Université Fédérale Toulouse Midi-Pyrénées (41 Allée Jules Guesde, 31000 Toulouse - France)
- INSA Toulouse - Institut National des Sciences Appliquées - Toulouse (135, avenue de Rangueil - 31077 Toulouse cedex 4 - France)
- Toulouse INP - Institut National Polytechnique (Toulouse) (France)
- Université Fédérale Toulouse Midi-Pyrénées (41 Allée Jules Guesde, 31000 Toulouse - France)
2
IS2M - Institut de Science des Matériaux de Mulhouse (15 rue Jean Starcky BP 2488 68057 MULHOUSE CEDEX 2 - France)
- Université de Haute-Alsace (UHA) - Université de Haute-Alsace (UHA) Mulhouse - Colmar (2, rue des Frères Lumière F-68093 Mulhouse Cedex - France)
- CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UMR7361 (France)
- Matériaux et nanosciences d'Alsace (France)
- CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique (France)
- INSERM - Institut National de la Santé et de la Recherche Médicale (101, rue de Tolbiac, 75013 Paris - France)
- Université de Haute-Alsace (UHA) - Université de Haute-Alsace (UHA) Mulhouse - Colmar (2, rue des Frères Lumière F-68093 Mulhouse Cedex - France)
- UNISTRA - Université de Strasbourg : FR3627 (4 rue Blaise Pascal - CS 90032 - 67081 Strasbourg cedex - France)
- Réseau nanophotonique et optique (France)
- CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique (France)
- UNISTRA - Université de Strasbourg : FR3678 (4 rue Blaise Pascal - CS 90032 - 67081 Strasbourg cedex - France)
- Université de Haute-Alsace (UHA) - Université de Haute-Alsace (UHA) Mulhouse - Colmar (2, rue des Frères Lumière F-68093 Mulhouse Cedex - France)
3
IEIIT-CNR - Institute of Electronics, Computer and Telecommunication Engineering (Corso Duca degli Abruzzi 24, 10129 Torino, Italy - Italy)
- Polito - Politecnico di Torino [Torino] (Politecnico di Torino - Corso Duca degli Abruzzi, 24 10129 Torino - Italy)
- CNR - Consiglio Nazionale delle Ricerche [Torino] (Corso Duca degli Abruzzi 24, 10129 Torino, Italy - Italy)
4
LNIO - Laboratoire de Nanotechnologie et d'Instrumentation Optique (12 rue Marie Curie - BP 2060 10010 TROYES CEDEX - France)
- ICD - Institut Charles Delaunay (12, rue Marie Curie BP 2060 - 10010 Troyes Cedex - France)
- UTT - Université de Technologie de Troyes (12 rue Marie Curie CS 42060 10004 TROYES CEDEX - France)
- CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UMR6281 (France)
5
LAAS-TEAM - Service Techniques et Équipements Appliqués à la Microélectronique (France)
- LAAS - Laboratoire d'analyse et d'architecture des systèmes (7 Av du colonel Roche 31077 TOULOUSE CEDEX 4 - France)
- UT2J - Université Toulouse - Jean Jaurès (5 allées Antonio Machado - 31058 Toulouse Cedex 9 - France)
- UT1 - Université Toulouse 1 Capitole (2 rue du Doyen-Gabriel-Marty - 31042 Toulouse Cedex 9 - France)
- Université Fédérale Toulouse Midi-Pyrénées (41 Allée Jules Guesde, 31000 Toulouse - France)
- CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UPR8001 (France)
- UT3 - Université Toulouse III - Paul Sabatier (118 route de Narbonne - 31062 Toulouse - France)
- Université Fédérale Toulouse Midi-Pyrénées (41 Allée Jules Guesde, 31000 Toulouse - France)
- INSA Toulouse - Institut National des Sciences Appliquées - Toulouse (135, avenue de Rangueil - 31077 Toulouse cedex 4 - France)
- Toulouse INP - Institut National Polytechnique (Toulouse) (France)
- Université Fédérale Toulouse Midi-Pyrénées (41 Allée Jules Guesde, 31000 Toulouse - France)
Abstract : Near infra-red (NIR) self-guided photo-polymerization is investigated in the context of micro-optics photo-fabrication on VCSELs (Vertical-Cavity Surface Emitting Lasers). We present the optimized process we have developed to allow for a collective fabrication on III-V devices wafers under real-time optical monitoring. The influence of photo-chemical parameters on final micro-elements dimensions is studied for two types of single mode 760nm VCSELs. The difference of the resulting tip shape between the two lasers is due to the strong differences of their emissions, as they are nicely reproduced by the computed near-field profiles. The tip shapes are also compared to those produced by the light emitted by an optical fiber and differences with VCSEL tips are discussed. Also the VCSEL characteristics with fabricated tips are discussed and found in good agreement with optical modeling.
Document type :
Journal articles
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Complete list of metadata
https://hal-utt.archives-ouvertes.fr/hal-02440749
Contributor : Daniel Gavrysiak Connect in order to contact the contributor
Submitted on : Wednesday, January 15, 2020 - 1:01:11 PM
Last modification on : Tuesday, October 19, 2021 - 11:18:14 PM
Contributor : Daniel Gavrysiak Connect in order to contact the contributor
Submitted on : Wednesday, January 15, 2020 - 1:01:11 PM
Last modification on : Tuesday, October 19, 2021 - 11:18:14 PM
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Identifiers
- HAL Id : hal-02440749, version 1
- DOI : 10.1364/OE.20.022922
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Citation
David Barat, Véronique Bardinal, I. Dika, Olivier Soppera, P. Debernardi, et al.. Photo-chemical study and optical properties of microtips self- written on vertical laser diodes using NIR photo-polymerization. Optics Express, Optical Society of America - OSA Publishing, 2012, 20 (20), pp.22922-22933. ⟨10.1364/OE.20.022922⟩. ⟨hal-02440749⟩
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