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David Barat 1
Author
Véronique Bardinal 1
Author Employer institution : Équipe MICrosystèmes d'Analyse IdHAL : veronique-bardinal ORCID : https://orcid.org/0000-0001-9242-4457
I. Dika 2
Author
Olivier Soppera 2
Author IdHAL : olivier-soppera ORCID : https://orcid.org/0000-0001-5250-2254
P. Debernardi 3
Author
Anna Rumyantseva 4
Author
Benjamin Reig 5
Author IdHAL : benjamin-reig
Mikael Renault 4
Author
Thierry Camps 1
Author Employer institution : Équipe Nano Ingénierie et Intégration des Systèmes
Aurélien Bruyant 4
Author
Jean-Baptiste Doucet 5
Author Employer institution : Service Techniques et Équipements Appliqués à la Microélectronique
J.P. Malval 2
Author
Emmanuelle Daran 5
Author Employer institution : Service Techniques et Équipements Appliqués à la Microélectronique
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