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Journal articles
Plasma investigations and deposition of Me-DLC (Me = Al, Ti or Nb) obtained by a magnetron sputtering-RFPECVD hybrid process
Imane Bouabibsa
1
Salim Lamri
1
Akram Alhussein
1
Tiberiu Minea
2
Frédéric Sanchette
1
1
LASMIS - Laboratoire des Systèmes Mécaniques et d'Ingénierie Simultanée
ICD - Institut Charles Delaunay
Frédéric Sanchette 1
Author
1
LASMIS - Laboratoire des Systèmes Mécaniques et d'Ingénierie Simultanée (12 rue Marie Curie - BP 2060 10010 TROYES CEDEX - France)
- ICD - Institut Charles Delaunay (12, rue Marie Curie BP 2060 - 10010 Troyes Cedex - France)
- UTT - Université de Technologie de Troyes (12 rue Marie Curie CS 42060 10004 TROYES CEDEX - France)
- CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UMR6281 (France)
2
LPGP - Laboratoire de physique des gaz et des plasmas (SUPELEC - Plateau de Moulon 3, rue Joliot-Curie 91192 GIF SUR YVETTE CEDEX - France)
- UP11 - Université Paris-Sud - Paris 11 (Bâtiment 300 - 91405 Orsay cedex - France)
- CNRS - Centre National de la Recherche Scientifique : UMR8578 (France)
Document type :
Journal articles
Complete list of metadata
https://hal-utt.archives-ouvertes.fr/hal-02281470
Contributor : Jean-Baptiste Vu Van Connect in order to contact the contributor
Submitted on : Monday, September 9, 2019 - 11:34:02 AM
Last modification on : Wednesday, September 15, 2021 - 3:08:34 PM
Contributor : Jean-Baptiste Vu Van Connect in order to contact the contributor
Submitted on : Monday, September 9, 2019 - 11:34:02 AM
Last modification on : Wednesday, September 15, 2021 - 3:08:34 PM
Identifiers
- HAL Id : hal-02281470, version 1
- DOI : 10.1016/j.surfcoat.2018.09.033
Collections
Citation
Imane Bouabibsa, Salim Lamri, Akram Alhussein, Tiberiu Minea, Frédéric Sanchette. Plasma investigations and deposition of Me-DLC (Me = Al, Ti or Nb) obtained by a magnetron sputtering-RFPECVD hybrid process. Surface and Coatings Technology, Elsevier, 2018, 354, pp.351-359. ⟨10.1016/j.surfcoat.2018.09.033⟩. ⟨hal-02281470⟩
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