Structure, mechanical and tribological properties, and oxidation resistance of TaC/a-C:H films deposited by high power impulse magnetron sputtering

Huan Luo (1) , Mohammad Arab Pour Yazdi (1) , Sheng-Chi Chen (2) , Hui Sun (3) , Fei Gao (1) , Olivier Heintz (4) , Alexis de Monteynard (5) , Frédéric Sanchette (5) , Alain Billard (1)

1 FEMTO-ST - Franche-Comté Électronique Mécanique, Thermique et Optique - Sciences et Technologies (UMR 6174)
2 Chang Gung University [Taïwan]
3 Shandong University
4 ICB - Laboratoire Interdisciplinaire Carnot de Bourgogne
5 LASMIS - Laboratoire des Systèmes Mécaniques et d'Ingénierie Simultanée

Domaines: Chimie

Huan Luo, Mohammad Arab Pour Yazdi, Sheng-Chi Chen, Hui Sun, Fei Gao, et al.. Structure, mechanical and tribological properties, and oxidation resistance of TaC/a-C:H films deposited by high power impulse magnetron sputtering. Ceramics International, 2020, 46, pp.24986 - 25000. ⟨10.1016/j.ceramint.2020.06.284⟩. ⟨hal-03491969⟩